继台积电宣布将全年开支从110亿美元提升至140－150亿美元后，有消息称三星将斥资约181亿元向荷兰公司ASML购买15台EUV光刻机，用于提升7nm芯片的产能。
实际上，按照三星181亿元15台EUV光刻机的价格，平均每台光刻机折合约为12亿元，比目前ASML EUV光刻机NEX：3400B／3400C的报价高出三分之一左右。业内分析称，三星或许附加了其他服务需求，又或者订购的EUV光刻机中包含未来发展型号，是在为布局未来芯片市场做准备。
众所周知，EUV光刻机是7nm甚至是未来工艺制程芯片的重要生产装备，当前全球仅有ASML可以提供。而在该公司最新发布的第三季度财报中显示，该季度他们仅交付了7台EUV光刻机，但当季接到的订单已达23台，创造了历史记录。
自去年6月三星宣布量产7nm EUV芯片后，就再也没有大规模出货的消息传出，其在韩国华城的EUV生产线尚在建设中，预计明年才能实现大规模量产。与此同时，台积电却已拿到了苹果、华为等诸多大厂订单，三星压力可想而知。按照ASML一年出货30台左右EUV光刻机看，三星等于一下子定下了该公司半年的产能。不过相关消息称，三星的这批订单是分三年交付的，预定未来型号光刻机的可能性很大。
